南宫NG28(中国)官方网站

設備の機能が高度に統合され、印刷速度が速く、装置の構造がコンパクトで、製品の印刷品質を大幅に向上させることができる。

1. 高速：最大0.9秒に達す。
2. 高精度：高解像度カメラ検査システムを採用し、印刷精度は±6um；
3. 高い互換性：互換性：PERC、TOPCON、IBC、HJTおよび他のプロセスルート、サイズは156-230mmのような様々なウェハと互換性がある。
4. 高速リニアインタラクティブウェハ搬送技術。